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超聲振動磨削原(yuan)理、優勢、分類和發展(zhan)趨勢
超聲振(zhen)動磨削的材(cai)料去除機制(zhi)和表面形成機(機)制
典型(xing)航空工業難(難)加工材料超(chao)聲振動輔助(zhu)加工現狀
超(chao)聲加工降低切削力(li)、改善粗糙度(du)、降低刀具磨(mo)損
碳化(hua)硅晶圓功率(lu)密度高、耐壓高、導熱系數高,是功(gong)率半導體首(shou)選材料,在新(xin)能源領域應用越來越廣(廣)泛。碳化硅硬(ying)度高,采用常規的晶(jing)圓劃片方案(an),切割速度慢(man),刀片消耗大(da)。超(chao)聲振動輔助劃片(pian),極大地(di)提高了生產(產)效率。
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